圧力センサーのシリコンとセラミックダイアフラムの違いを知っていますか?

May 17, 2019

ダイアフラムの材質が異なるいくつかのタイプの圧力センサーがあります。 それらには違いと類似点があります。 それらのいくつかの機能は次のように見つけることができます。

 

金属静電容量式圧力センサータイプUIB3351

利点:高精度(0.075%FS〜0.25%FSに到達可能)、広い範囲比、従来の20:1(高精度は100:1に到達可能)、良好な安定性(ゼロおよびフルスパンの温度ドリフトは0.2〜を超えない0.5%FS)、強力な耐干渉性および耐過負荷能力(過負荷の50〜100倍に達することができ、圧力センサーのダイアフラムを損傷しません)。

 

ピエゾ抵抗シリコン圧力センサーUPB13

利点:高精度(0.1%FSに到達可能)、優れた安定性(ゼロおよびフルスパンの温度ドリフトが0.25%FSを超えない)、優れた干渉防止および過負荷防止能力(4倍の過負荷に耐えることができ、損傷しない圧力トランスミッターのダイヤフラム)。

 

セラミック圧力センサータイプUPB3

利点:高精度(最大0.25%FS)、 優れた安定性 (ゼロおよびフルスパンの温度ドリフトが0. 5%FSを超えない)、 優れた耐干渉性と過負荷耐性能力(3倍の過負荷に耐えることができます   そして、ダイアフラムを損傷しません) 。

しかし、優れた防食機能により、セラミックダイヤフラムは強酸および強アルカリの長期腐食に耐えることができます。


セラミックコンデンサ

利点:高精度( 0.1%FSに到達可能 )、良好な安定性(ゼロおよびフルスパンの温度ドリフトが0.2 5%FSを超えない)、 優れた耐干渉性と耐過負荷能力(10倍の過負荷に耐えることができ、ダイアフラムに損傷を与えません)。

しかし、優れた防食機能により、セラミックダイヤフラムは強酸および強アルカリの長期腐食に耐えることができます。


単結晶シリコン

利点:高精度( 0.1%FSに到達可能 )、 優れた安定性 (ゼロおよびフルスパンの温度ドリフトは0.2 5%FSを超えない)、優れた干渉防止および過負荷防止能力(4倍の過負荷に耐えることができる)   ダイヤフラムを損傷しません)。

詳細については、Qi Huang( qihuang@utopsensor.com )にお問い合わせください。