拡散シリコン圧力トランスミッターの構造と動作原理

拡散シリコン圧力発信器の構造構成

圧力センサーの出力なのでUPX19は、非標準信号です。実際のアプリケーションでは、センサーをユニバーサルにし、信号の伝送と記録を容易にするために、センサーを標準信号入力回路と組み合わせて使用​​して、標準信号を出力します。このとき標準信号を出力するセンサーを圧力発信器といいますUPB13.

つまり、送信機はセンサーから次第に発展していきます。この論文で研究されている拡散シリコン圧力トランスミッタは、主にMEMSセンサー、測定カプセル、インターフェース、および処理回路（スマート回路基板）で構成されています。

圧力センサーとダイオード温度センサーは測定カプセルの上部にパッケージ化されており、カプセル本体は2つのシーリングフランジで固定され、トランスミッターの測定部を形成します。電圧信号に作業現場。また、電子回路基板、液晶表示ヘッダー、接続端子により表示部を構成し、センサーが出力する電圧信号を増幅して4〜20mAに変換し、標準の電流信号を出力します。

拡散シリコン圧力トランスミッタの動作原理

単結晶シリコンのピエゾ抵抗効果に基づいて、高度なマイクロエレクトロメカニカルプロセッシングテクノロジーを使用してシリコンウエハーの特定の方向に弾性コンポーネントが製造され、適切な位置に集積回路テクノロジーによって等しい抵抗を持つ4つの感圧抵抗器が製造されます。ホイートストンブリッジに接続します。ブリッジには定電圧（電流）が印加され、測定された圧力は測定カプセルに封入されたシリコンオイルを介してシリコンチップに伝達され、損失は発生しません。その後、トランスミッタは測定される圧力に線形に比例する電圧信号を出力します。次に、電圧信号が増幅され、電子回路を介して2線式標準信号に変換されます。

総括する：

その動作原理から、圧力センサーは圧力トランスミッターの重要な部分であることを知ることができますUPB1、およびトランスミッタの温度ドリフトの主な原因は、シリコン圧力センサーの温度ドリフトです。シリコン圧力トランスミッターの温度ドリフト補償に関する現在の研究も、主にシリコン圧力センサーの部分に焦点を当てています。

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