圧力トランスデューサーの歴史

ガリレオガリレイまでさかのぼる、科学者たちは圧力を測定しようとしてきた。 次の300年間、科学者は圧力測定の理解に役立つ発見をしました。 しかし、圧力変換器UPC1技術で大きな進歩を遂げたのは、土木技術者であるロイ・カールソンによる非結合ひずみゲージの発明により、1930年になってからでした。

1930年：ロイ・カールソンは、コンクリート構造内の歪みを測定するために、最初の非結合ワイヤ歪みゲージUPC7を設計しました。

1938年：マサチューセッツ工科大学のアーサー・ルージュとカリフォルニア工科大学のエドワード・シモンズは、独立して、同時にボンディングワイヤひずみゲージのプロセスを開発しました。 二人は一緒に特許を申請することになりました。

1952年：箔ひずみゲージは、サンダース・ロー社のピータージョージスコットジャクソンによって発明されました。箔ひずみゲージは、熱放散、熱安定性、再現性、生産コストの削減など、ボンディングワイヤゲージよりも優れた利点を提供しました。

1954：容量性圧力トランスデューサーは、カールスポールディングによって開発されました。 これらのセンサーは、非常に小さな圧力を十分な精度で測定する方法を提供しました。

1960年代：安定性とヒステリシスが低い最初の薄膜トランスデューサーが開発されました。 この技術は、現在でも高圧測定に使用されています。 一方、シリコンダイアフラムとシリコンセンサーのUPX13特許も、1960年代後半にハネウェルリサーチセンターのアートジアスとジョンイーガンによって開発されました。

1973：Bendix CorporationのWilliam Polyeは、石英を使用した容量性トランスデューサーを設計しました。 これにより、より低い圧力範囲の測定が可能になりました。

1979年：KavlicoのRobert Bellは、容量性トランスデューサーテクノロジーに基づいて、水晶体をセラミック体に置き換えました。 この設計は現在でも一般的に使用されています。

詳細については、Qi Huang（ qihuang@utopsensor.com ）にお問い合わせください。