シリコン圧力センサー
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Silicon Pressure Sensor
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シリコン圧力センサー

1.コンピューターでテストされた、高精度の補償。
2.良好なパフォーマンス、高い信頼性。
3.輸入された圧力シリコンダイ。
4.さまざまな種類のメディア測定に適した分離型構造。
5.圧力範囲:-1 ... 0〜0.2 ... 100 bar。

 

シリコン圧力センサー

説明

シリコンピエゾ抵抗技術に基づいて、UPX6-a、-b、および-cは、高品質のピエゾ抵抗シリコンチップを採用して製造されています。

UPX6-aシリコン圧力センサーは、UPX19基盤に基づく超薄型設計です。

UPX6-bシリコンピエゾ抵抗圧力センサーは、UPX-19の製造技術を使用して製造されています。 高圧状況のアプリケーション用に設計されています。 直径が小さいため、取り付け後にセンサー本体の強度が大幅に低下します。

UPX6-cシリコン圧力センサーは、UPX-19の製造技術を使用して製造されています。 外径と長さを除き、これらのセンサーの他の技術仕様は完全に同じです。

特徴

◇コンピューターテスト済み、高精度の補償

◇優れた性能、高い信頼性

◇輸入圧力シリコンダイ

◇多くの種類のメディア測定に適した絶縁型構造

仕様書

圧力媒体 ステンレス鋼に適合する気体または液体


圧力範囲

-1 ... 0〜0.2 ... 100 bar(UPX6-a G、A、S)

0〜10 ... 1000 bar(UPX6-b A、S)

-1 ... 0〜0.4 ... 400bar(UPX6-c GAS)

圧力式 ゲージ(G)、アブソリュート(A)、密閉ゲージ(S)
過負荷圧力 150%FS
出力信号 ≥70mV(標準)
正確さ 0.25%FS(標準)、0.5%FS
ゼロオフセット ≤±2mV
長期安定性 <0.2%fs>
励起 1.5mAまたは10V DC(1.5mA標準)
補償温度範囲 -10〜+ 70℃
動作温度範囲 -40〜+ 100℃
保存温度範囲 -40〜+ 100℃
ゼロの温度係数 0.2%FS / 10℃
スパンの温度係数 0.2%FS / 10℃
入出力抵抗 2〜6kΩ
絶縁抵抗 100MΩ@ 50VDC
電気接続 6ピンまたは4線
圧力膜とハウジングの材料 316L
応用

UPX6シリコン圧力センサーは、石油、化学工業、冶金、電力、航空、宇宙飛行士、医療機器、自動車などのプロセス制御で広く使用されています。

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