液圧変換器

●MEMSシリコンチップに基づいています。
●高精度、高安定性、高信頼性。
●フラッシュ構造、優れた動的周波数応答。
●広い測定範囲。

液圧変換器

液圧トランスデューサーの説明

MEMS技術に基づいて、UPC4高周波液体圧力トランスデューサは、検出素子として統合シリコンダイアフラムを使用します。 UPC4の有効サイズは小さく、シリコンの優れた弾性特性により、トランスデューサーのフラッシュ構造に加えて、UPC4の動的周波数応答は非常に高く（最大1MHz）、最低からゼロ周波数、最高ほぼ自然な周波数であり、レベルの立ち上がり時間はわずかマイクロ秒です。 UPC4液圧トランスデューサーの全体的な性能は、圧電動圧トランスデューサーを上回ります。

UPC4高周波液圧トランスデューサーは、軍事工学、溶融爆発実験、石油、油井検層、材料、力学、建設工学、土壌および岩石力学、創傷治療、油圧発電機実験などの科学実験に広く適用されています。近代化機器およびメーターでは、動的圧力測定の最初の選択肢です。

液圧トランスデューサーの特徴

● MEMSシリコンチップに基づく

●高精度、高安定性、高信頼性

●フラッシュ構造、優れた動的周波数応答

●広い測定範囲

液圧変換器の仕様

動的周波数	最大 1MHz
圧力媒体	ステンレス鋼に適合する気体または液体
圧力範囲	0〜0.1bar ... 600bar
圧力式	ゲージ（G）、密閉ゲージ（S）
過負荷圧力	≥150％FS
出力信号	80±20mV
正確さ	0.25％FS、0.5％FS（標準）
ゼロオフセット	≤±2mV
長期安定性	<0.2％fs>
励起	1.5mAまたは10 VDC
補償温度範囲	-10〜70℃
動作温度範囲	-30〜100℃
保存温度範囲	-40〜100℃
ゼロの温度係数	0.3％FS / 10℃
スパンの温度係数	0.3％FS / 10℃
入出力抵抗	1〜6kΩ
絶縁抵抗	100MΩ@ 50VDC
プロセス接続	M20×1.5その他
電気接続	セルフロック構造またはその他
接液部の材料	1Cr18Ni9Ti
住宅の材料	1Cr18Ni9Ti

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