MEMSセンサーの重要なチップ

MEMSセンサーの最も重要なチップは、MEMSチップとASICチップです。 MEMSチップは、信号を検知し、測定量を抵抗や静電容量などの信号の変化に変換する責任があります。 ASICチップは、容量や抵抗などの信号を電気信号に変換する責任があります。これには、信号変換や増幅などの関数が含まれます。

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